Elektron nurlari bilan bug'lanish qoplamlari tayyorlovchilari yupqa qatlamlarni qo'llash sohasida keng qo'llaniladigan ixtisoslashtirilgan asboblar hisoblanadi. Ushbu usul elektron nurlar yordamida materiallarni bug'ga aylantirishga asoslanadi, keyin esa ular substratda kondensatsiyalanib, bir tekis yupqa qatlam hosil qiladi. Ushbu jarayon turli xil ilovalar uchun, elektronikadan optikagacha va hatto biotexnologiyagacha bo'lgan sohalarda o'ta samarali hisoblanadi. Eng muhim afzalliklardan biri