แนวทางเชิงบูรณาการ: แมกนีตรอนสปัตเตอร์และเทคโนโลยีการเคลือบอื่นๆสำหรับตารางวัสดุขั้นสูงของเนื้อหา1.เทคโนโลยีการเคลือบผิวเบื้องต้น2.เข้าใจ Magnetron sputtering 2.1หลักการของ Magnetron sputtering 2.2ข้อดีของ Magnetron sputtering 3.เทคโนโลยีการเคลือบอื่นๆ3.1การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) 3.2การสะสมไอเคมี (CVD) 3.3 deposit ชั้นอะตอม