เครื่องเคลือบด้วยกระบวนการระเหยด้วยลำอิเล็กตรอนเป็นอุปกรณ์เฉพาะทางที่ถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในด้านการเตรียมฟิล์มบางเทคนิคนี้อาศัยการใช้ลำอิเล็กตรอนเพื่อทำให้วัสดุระเหยเป็นไอซึ่งจากนั้นจะควบแน่นบนแผ่นรองรับสร้างเป็นฟิล์มบางที่มีความสม่ำเสมอกระบวนการนี้มีประสิทธิภาพสูงสำหรับการประยุกต์ใช้งานที่หลากหลายตั้งแต่อิเล็กทรอนิกส์ไปจนถึงออปติกและแม้กระทั่งเทคโนโลยีชีวภาพหนึ่งในข้อได้เปรียบที่สำคัญ