Integračné prístupy: magnetrón rozprašovanie a iné technológie povlaku pre pokročilé materiály

Integračné prístupy: magnetrónové prská a iné technológie povlaku pre pokročilé materiály obsah 1. úvod do technológií povlaku 2. pochopenie magnetrónového rozprašovania 2.1 princípy magnetrónového rozprašovania 2.2 výhody magnetrónového rozprašovania 3. ostatné technológie povlaku 3.1 fyzická depozícia par (pvd) 3.2 chemická depozícia par (cvd) 3.3 atómová vrstva depositi