Интегративные подходы: магнетронное распыление и другие технологии нанесения покрытий для современных материалов

Интегративные подходы: магнетронное распыление и другие технологии нанесения покрытий для перспективных материалов Содержание 1. Введение в технологии нанесения покрытий 2. Основы магнетронного распыления 2.1 Принципы магнетронного распыления 2.2 Преимущества магнетронного распыления 3. Другие технологии нанесения покрытий 3.1 Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) 3.2 Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) 3.3 Осаждение атомными слоями