Četru mērķu magnetronu smidzināšanas pārklājuma sistēma ar pārejas kameru
Šis produkts var tikt izmantots, lai izgatavotu vienslāņa vai daudzslāņu ferroelektriskās filmas, vadošās plēves, sakausējuma plēves, pusvadītāju filmas, keramikas filmas, dielektriskās plēves, optiskās plēves, oksīda plēves, cieto pārklājumu, politetrafluoretilēna plēves un vairāk, un iezīmes standartizācija, modularitāte, un pielāgojamība.
skatīt vairāk