Integrātīvas pieejas: magnetronu smidzināšanas un citas pārklājuma tehnoloģijas modernu materiālu

Integrātīvas pieejas: magnetronu smidzināšanas un citas pārklājumu tehnoloģijas modernu materiālu saturs 1. ievads pārklājuma tehnoloģijās 2. izpratne magnetronu sputtering 2.1 principi magnetronu sputtering 2.2 priekšrocības magnetronu sputtering 3. pārējās pārklājuma tehnoloģijas 3.1 fiziskā tvaika nogulsnēšanās (pvd) 3.2 ķīmiskā tvaika nogulsnēšanās (cvd) 3.3 atomslāņa noguldīšana