2026-07-25

高度な材料研究のための実験用マグネトロンスパッタリングシステムの可能性を解き放つ

ラボ用マグネトロンスパッタリング装置は、材料科学分野、とりわけ薄膜堆積を専門とする研究者にとって不可欠な装置です。これらのシステムは、マグネトロンスパッタリング技術を用いており、固体のターゲット材料から原子を放出することで薄膜を形成する物理気相成長（PVD）法です。このプロセスは、……の適用によって達成される。