Integratív megközelítések: mikrohullámú porlasztás és egyéb bevonat technológiák a fejlett anyagok

Integratív megközelítések: Magnetronelvádózás és egyéb bevonattechnológiák fejlett anyagokhoz Tartalomjegyzék 1. Bevezetés a bevonattechnológiákba 2. A magnetronelvádózás megismerése 2.1 A magnetronelvádózás alapelvei 2.2 A magnetronelvádózás előnyei 3. Egyéb bevonattechnológiák 3.1 Fizikai gőzfázisú lerakás (PVD) 3.2 Kémiai gőzfázisú lerakás (CVD) 3.3 Atomréteges lerakás