A laboratóriumi mikrohullámú porlasztási rendszerek potenciáljának feloldása a fejlett anyagkutatáshoz

A laboratóriumi magnetronos szputterelő rendszerek létfontosságú eszközök a anyagtudomány területén, különösen azok számára, akik a vékony filmek lerakására specializálódtak. Ezek a rendszerek a mágnesezett szputterezés technikáját alkalmazzák, amely egy olyan fizikai gőzfázisú lerakásos (PVD) eljárás, amely szilárd célmateriálból történő atomkibocsátás révén teszi lehetővé vékony filmek képződését. Ez a folyamat az alábbiak alkalmazásával valósul meg: