دستگاههای پوششدهی تبخیری با بارگذاری الکترون، ابزارهای تخصصی هستند که بهطور گسترده در زمینه تهیه فیلمهای نازک استفاده میشوند. این روش بر استفاده از یک باریکه الکترونی تکیه میکند که مواد را تبخیر میکند و سپس آنها روی یک زیرلایه متراکم شده و یک فیلم نازک یکنواخت ایجاد میکنند. این روش برای انواع کاربردها، از الکترونیک گرفته تا نوری و حتی زیستفناوری، بسیار موثر است. یکی از مزایای کلیدی