Integrative Ansätze: Magnetron-Sputtern und andere Beschichtung stech no logien für fortschritt liche Materialien

Integrative Ansätze: Magnetron-Sputtern und andere Beschichtung stech no logien für fortschritt liche Materialien Inhalts verzeichnis 1. Einführung in Beschichtung stech no logien 2. Verständnis des Magnetron-Sputter ens 2.1 Prinzipien des Magnetron-Sputter ens 2.2 Vorteile des Magnetron-Sputter ens 3. Andere Beschichtung stech no logien 3.1 Physikalische Dampf ablagerung (PVD) 3.2 Chemische Dampf ablagerung (CVD) 3.3 Atomschicht depositi