Erschließung des Potenzials von Labor-Magnetron-Sputter systemen für fort geschrittene Material forschung

Laboratoriumsmagnetron-Sputteranlagen sind unverzichtbare Instrumente in der Materialwissenschaft, insbesondere für Forschende, die sich auf die Abscheidung dünner Schichten spezialisiert haben. Diese Systeme nutzen die Magnetron-Sputtertechnik, ein Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), das die Abscheidung dünner Schichten durch das Herauslösen von Atomen aus einem festen Targetmaterial ermöglicht. Dieser Prozess wird durch die Anwendung von erreicht.